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國立中興大學-光電半導體製程中心 本無塵室是由本校的光電所所有老師協力而成立的，在中台灣地區是唯一的大學有高規格的無塵室，並積極進行半導體研究及人才培育，並獲得許多新竹科學園區產業界青睞，並與半導體公司進行建教合作計畫，投入各項半導體研究之工作。
