電漿設備知識摘要

(共計：21)

低壓電漿清潔設備PC03/PC04 - 馗鼎奈米科技
處理均勻性佳．離子能量低、不損傷基板．沒有電極及基板的汙染．專利設計之特殊電漿電極．高密度電漿源＊電漿效率高、清潔效率高＊可控制低的離子能量