1x奈米挑戰劇增 電子束車拼光學晶圓檢測技術 - 懂市場 - 新電子科技雜誌 1x奈米製程將引燃晶圓 缺陷檢測技術新戰火。光學 檢測囿於解析度限制，已無法滿足1x奈米晶圓驗證要求，遂使得新一代 ...
電子束吞吐量偏低 光學檢測仍居先進製程主流 - 追新聞 - 新電子科技雜誌 光學晶圓 檢測方案將仍係居先進製程市場主流。近年來晶圓代工業者為因應先進製程電晶體微縮的設計挑戰，紛紛導入 ...
半導體科技新聞 - KLA-Tencor開啟電子束監控新時代 - Semicondutor News, Science and Technology 近期推出業界第一套能在量產生產線中監控 電子的 電子束檢測工具—eS30 ... 「對於現今邁入130奈米以下量產製程的晶片製造商而言， ...
《數位之牆》KLA-Tencor 推出第十代電子束偵測系統eS35 KLA-Tencor 公司今日宣布推出 eS35 電子束偵測系統，該系統能在更高的速度下 檢測並分類更小的物理 缺陷，以及更細微的 ...
科磊：電子束需求走緩 - 中時電子報 半導體設備大廠美商科磊（KLA Tencor）總裁暨執行長Rick Wallace表示，雖然近幾年 電子束缺陷檢測 ...
科磊：電子束需求走緩- 中時電子報 2014年5月26日 - 雖然市場法人及分析師認為，電子束將成為半導體缺陷檢測設備主流，但Rick Wallace ...
1x奈米挑戰劇增電子束車拼光學晶圓檢測技術- 懂市場- 新電子 ... 1x奈米製程將引燃晶圓缺陷檢測技術新戰火。 ... 整合光學/電子束技術科磊力守晶圓檢測龍頭地位 ... 率大增，須搭配解析度更高的電子束檢測機台，才能補強晶圓缺陷 檢測流程，避免影響最終晶 ...
1x奈米挑戰劇增電子束車拼光學晶圓檢測技術- 懂市場- 新電子 ... 1x奈米製程將引燃晶圓缺陷檢測技術新戰火。光學檢測囿於解析度限制，已無法滿足1x奈米晶圓驗證要求， ...
電子束檢測設備出頭天- Yahoo奇摩新聞 2012年2月24日 - 電子束檢測設備的出現就是要替代光學檢測系統的缺陷，因為當半導體製程技術邁入28奈 ...
科磊吐槽電子束檢測速度慢漢微科駁未來分食光學市場- 財經 ... 2014年5月26日 - 科磊產品涵蓋光學檢測、電子束檢測設備，Rick Wallace表示，電子束檢測設備找晶圓缺陷 ...
