離子佈植 15. 離子佈植機示意圖. 氣體匱. 離子源. 真空幫浦. 真空幫浦. 電機系統. 電機系統. 磁場分. 析儀. 離子束. 終端分析儀. 晶圓. 電漿. 16. 離子佈植: 射束線系統. • 離子源.