[技術專文] 銅電解拋光與電鍍於銅製程整合應用- 《半導體科技 ... 在半導體製造技術中，進行高密度微影製程需要一個沒有高低落差之平坦表面以避免曝光散射，方可達成精密導電線路之圖案轉移。化學機械研磨技術（Chemical ...
銅電解拋光與電鍍於銅製程整合應用 - 半導體科技 也尋找了一些方法（如退火）使得銅在達到平坦化後，能繼續往下拋光去除剩餘在溝渠之外的銅以期接近擴散阻隔層。 我們在銅電解拋光方面已經有了相當的成果。
求助哪里有售铜的电化学抛光液及电解抛光时的参数？？？ - 金属- 小木 ... 求助各位大虾，最近要做铜片的表面处理，表面平整度（粗糙度）达0.2um以下，镜面效果，需购铜的电解抛光液，不知道哪里有售？另外电解抛光时的 ...
铜和铜合金电解抛光。乏 2000年5月. 鼋司，龟复，，雹面. ，. 龟镀与环保. 第20卷第3期（总第113期）． 8 结束语. 综上所述．用钍盐钝化镀铸件和黄铜带．在钝化. 工艺方面．操作简单；在耐腐蚀 ...
铜及铜合金的电解抛光和化学抛光 - 360Doc个人图书馆 2013年5月16日 - 一、电解抛光. 铜及其合金的电解抛光，广泛采用磷酸电解液。其工艺规范列于表2—4—4。 新配制的溶液，应进行通电处理。配方1通电量为5A·h／L， ...
铜电解抛光药水配方_百度文库 2011年11月14日 - 铜电解抛光药水配方_机械/仪表_工程科技_专业资料。劑化氧抗它其或劑色變防銅浸層涂它其用或鍍電不如鍍電分水干烘干甩洗漂流逆道兩洗水動 ...
fundamentals of electrochemistry the electrolytic polishing of metals POLISHING OF METALS: APPLICATION TO COPPER AND NIOBIUM. V. Palmieri ... history of the electrolytic polishing is resumed from the beginning. Several ...
An in-situ Study of Copper Electropolishing in Phosphoric Acid ... the copper surface during the electropolishing process by analyzing the ... Keywords: copper, electrochemical analysis, electrolytic polishing, ECMP, ...
