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國立中山大學電機工程學系碩士論文 - eThesys 國立中山大學 ... 分別為0.69nm、2.6Ω/□及10nm 以下，對薄膜體聲波共振器. 之製作及特性的 ... Resonator, FBAR)，採用背部蝕刻矽基板型結構，先以濕式 ...... 薄膜塊體聲波諧振器 (Film Bulk Acoustic Resonator, FBAR)元.
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薄膜体声波谐振器_FBAR_谐振特性的模拟分析_百度文库 薄膜体声波谐振器_FBAR_谐振特性的模拟分析_信息与通信_工程科技_专业资料。 第19 卷5 期第2006 年10 月传感技术 ...
FBAR是什么意思_FBAR的翻译_音标_读音_用法_例句_爱词霸 ... abbr. film bulk acoustic resonator 薄膜体声谐振器. 网络. 薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator)；; 薄膜腔声 ...
FBAR的全称 - 爱词霸 abbr. film bulk acoustic resonator 薄膜体声谐振器. 网络. 薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator)；; 薄膜腔声 ...
薄膜体声波谐振器（FBAR）谐振特性的模拟分析 ... 锌作压电材料更合适． 关键词：薄膜体声波谐振器（ＦＢＡＲ）；Ｍａｓｏｎ等效电路模型； 微波振荡器；双工器；射频微机电系统.
