金屬薄膜之製作 - 國立嘉義大學應用物理學系 瞭解真空技術的基本知識；. 2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法；. 3． 瞭解真空鍍膜的基本知識；. 4．學習掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法． 二、實驗原理.
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友威科技股份有限公司::UVAT,濺鍍,真空,真空設備,鍍膜,真空濺鍍設備業務,真空濺鍍設備業務,專業濺鍍代工業務 ... 技術支援 技術辭典 濺鍍(Sputtering) 濺鍍（sputtering）是利用電漿（plasma）對靶材料進行離子轟擊（ion bombardment），而將靶材料表面的原子撞擊出來，這些靶原子以氣體分子型式發射出來，到達欲沉積的基板上，經過附著、吸附、表面遷徙、成核等過程 ...
技術辭典 - 友威科技股份有限公司 濺鍍（sputtering）是利用電漿（plasma）對靶材料進行離子轟擊（ion ... 於一密閉製程真空腔體內部通入Argon惰性氣體，於靶材表面及基板間施加一高電壓，此一高電壓 ...
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Thin-Film Sputtering Technologies - KDF Thin film technology is the process of depositing and characterizing functional ... (Ref: Proceedings of the American Vacuum Society Conference, Denver, CO, ...
