薄膜之殘留應力分析 - 國研院儀科中心 - 國家實驗研究院 2006年10月31日 - 假設薄膜應力為等向性，即可以藉著薄膜蒸鍍前後測量基板彎曲量的差值，求得實際膜應力的估計值，其中膜應力與基板上量測位置的半徑平方值、 ...
應用GIXRD 量測薄膜殘留應力與化學機械拋光的影響分析 表面殘留應力，將量測結果由LabView7.0 軟體編輯程式，計算殘留. 應力值，計算 結果與 ... 未來研究可應用GIXRD 量測不同材料薄膜殘留應力梯度的分. 佈，作為 化學 ...
開放 - 台灣科技大學機械工程系 - 國立台灣科技大學 量測所得殘留應力分佈的影響，量測及計算方法也克服了試片間變異. 及基材對薄膜 殘留應力分佈的影響。目前本研究已找出兩種造成. CMP 製程應力的機制，為表層 ...
新型晶圓擷取技術應用於CVD機台之研究 中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學桃園、中壢 中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日 論文編號：E05-0020 圖四 7真空吸附裝置示意圖
TO—220 TO—247 封装電阻器 塑封功率電阻 - 德鍵電子 德鍵電子散熱器外掛模壓型 TO—220 TO—247 封装電阻器 塑封功率電阻 : 具有高精密性，高功率的 TO-220，TO-247 模壓塑封型電阻。20W，30W，35W，50W 的 TO-220 和 100W 的 TO-247 功率電阻器產品系列，功率塑封模壓電阻器具有長期穩定性，低溫度系 ...
4-3 薄膜熱膨脹係數量測方法 - 中文查詢介面 - 國立中央大學 光學薄膜應力與熱膨脹係數量測之研究. (論文題目). 國立中央大學. 光電科學研究所. 博士論文. 研究生： 田春林. 指導教授： 李正中博士. 中華民國八十九年五月二十七 ...
2.1.3 薄膜應力計算公式 - 國立中央大學 2.1.3 薄膜應力計算公式……………….………………….9. 2.1.4 薄膜製程對氧化膜 應力的影響…………..…….………9. 2.2 應力量測 ...
彈.塑.熱性質不匹配對薄膜機械性質與應力分佈影響之探討 - 大同大學 奈米壓痕試驗近幾年來已成為量測薄膜性質的重要工具，和其他量測方法相. 比，此 法可以量測薄膜的硬度、楊氏係數、降伏強度、破壞韌性及殘留應力；某些. 模組甚至 ...
國立雲林科技大學光電工程研究所碩士班碩士論文 利用金屬薄片基板的變形，建立薄膜結構的薄膜應力與曲率關係式，成功量測所. 電鍍的鎳薄膜之內應力，是歷史上第一位量測內應力的人。在此之後包含微電子、.
薄膜應力量測儀(PSC)操作手冊 薄膜應力量測儀(PSC)操作手冊. 1.file→ load scan parameters：載入掃描參. 數，( 內定之參數值)。開啟檔案roc.ini 即可。 2. select device→ ok：選擇訊號擷取卡PCI.
