年度計畫摘要 - 中山科學研究院-軍民通用技術服務網站 薄膜太陽能製程設備及模組關鍵技術研究發展計畫(2/3)(中科院部份) 執行單位 中山科學研究院第二究所 99 年經費 51,824仟元 99 年人力 33人年 計畫重點摘要說明 99 年計畫內容 一、完成1.1m × 1.4m 大面積化高密度電漿機台製程設備細部設計評估與關鍵模組 ...