銅銦鎵硒(CIGS)薄膜型太陽能電池之製程殘靶綜合回收技術 ... 發電技術[1],分冸是矽晶型(單晶和多晶)太陽能電池和薄膜型太陽能電池(表1), ... CIGS 太陽能電池主要以真空濺鍍(sputter)或蒸鍍的生產製程為主[3],其原材料靶材 ...