反應離子蝕刻（Reactive Ion Etch） SAMCO-10NR 機台操作手冊 SAMCO-10NR 機台操作手冊. 撰寫人：林幹恆. 整個RIE 機台操作共可分成四大部分. 1. 使用前的檢查主要是確認時間、溫度、冷卻系統、氣體壓力流量分佈。 2. 製程前 ...
