最新論文資訊 - 中國材料學學會 奈米碳管、氧化鋅、電漿改質與表面活化、化學氣相沉積系統、微波電漿輔助化學氣相沉積系統、氣體偵測、場發射、陰極發光 博士論文名稱 表面電漿子於單根金奈米線及金奈米多孔性薄膜之遠場及近場光學特性研究 學校/科系 ...
化學氣相沈積 - 俊尚科技股份有限公司 化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition，CVD）是一種用來產生純度高、性能好 ... 電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）是CVD技術中的一種，其沈積原理與一般CVD並 ... MPCVD （Microwave Plasma CVD）微波電漿是材料薄膜沉積、微細加工和材料 ...
化學氣相沉積- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia 化學氣相沉積（英語：Chemical Vapor Deposition，簡稱CVD）是一種用來產生純度 ... 微波電漿輔助化學氣相沉積（Microwave plasma-assisted CVD, MPCVD）; 電漿 ...
以新型微波輔助化學氣相沉積法成長不同旋度單壁碳奈米管曾文綬1 ... 摘要. 此研究目的係利用新型微波電漿輔助化. 學氣相沉積法(MPCVD)分解CoCrPt 氧化層以. 形成奈米觸媒顆粒，據以成長垂直排列之單壁. 碳奈米管，並檢視其氧化層 ...
藉微波電漿輔助化學氣相沉積法合成氧化錫一維奈米 ... - 國立清華大學 微波電漿輔助化學氣相沉積法. Tin oxide nanowire nanopin. MPECVD. 摘要: 由於 奈米材料的尺寸因素，使其與一般結晶或非晶質相原子結構具有特別不同之光、電、 ...
趙崇禮博士助教： 廖仁誠CVD 鑽石 - 淡江大學機械與機電工程學系 1.2 電漿增強式化學氣相沉積法(PECVD)………………………………………6. 1.3 光 照射式化學 .... 其原理和微波電漿CVD 法相同，但是在反應室外圍放置兩組電磁鐵， 上面 ... 另外以電漿輔助鍍膜活化反應物時，可使生成激發態物種，而降低反應所需.
大面積低溫微波電漿輔助化學氣相沉積矽薄膜之研究__臺灣博碩士 ... 摘要本實驗採用大面積化微波電漿輔助化學氣相沉積系統，研究沉積低溫多晶矽的最 佳參數。以矽甲烷、氫氣、氬氣為反應氣體原料。藉由改變微波、高週波功率、反應 ...
下載 - 國立中央大學 1991年7月10日 ... 以提供讀者基. 於個人非營利性質之線上檢索、閱覽、下載或列印。 研究生簽名: 陳家豪. 論文名稱: 大面積低溫微波電漿輔助化學氣相沉積薄膜之研究.
T5-E - 國家奈米元件實驗室 電子迴旋共振式電漿輔助化學氣相沉積系統 .... (1) 檢查是否有discharge產生, 若有, 將微波電源關掉等微波功率歸零，再次打開微波電源，檢查有無電漿產生。 (2) 若電 ...
畢業校友 以電漿輔助化學氣相沉積法製備超疏水及疏油化薄膜. 97. 鄭為允. 以高溫微波電漿 火炬轉化四氟甲烷與六氟化硫之研究. 96. 蔡敘穎. 常壓氦氣及氦氣/氧氣電漿之模型 ...
