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微波熱處理在鈦的硅化工藝中的應用_百度文庫 相形核 。 本文采用固相反應的 原理， 通過 微波等離了體 溫度越高， 電阻值就越低。 ... -功能材料與器件學報 2004,10(1) 2. ...
微波退火非晶硅薄膜低温晶化研究 一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺: 微波退火非晶硅薄膜固相晶化法, 利用X 射线衍射、拉曼光谱和扫描电镜分析 ... 加热装置原理如图1 所示, 主要由微波发生器、波导.
微波退火非晶硅薄膜低温晶化研究- 电子电信- 道客巴巴 2013年7月12日 - 然后将淀积好的as 薄膜在保护下退火晶化， 波放入微波加热装置中， N 微所主波加热装置原理如图1 示， 要由微波发生器、 导微． t 5 ，管和加热腔 ...
太陽能電池原理與技術－多晶矽單晶片之製造技術 太陽能電池原理與技術. －薄膜型結晶 ... 一種，以2.45GHz的微波激發氣體分子使之解離而形成 ... 甚至比由熱退火處理及利用PECVD或HWCVD所直接得到. 的微晶 ...
請問「退火爐」的功用？ - Yahoo!奇摩知識+ 2006年1月2日 - 退火原理( annealing) 將金屬緩慢加熱到一定溫度﹐保持足夠時間﹐然後以適宜速度冷卻(通常是緩慢冷卻﹐有時是控制冷卻)的一種金屬熱處理工藝 ...
微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管_百度文库 2013年3月19日 - 采用非晶硅薄膜微波退火固相晶化法低温制备出多晶硅薄膜晶体管， 究 .... 放入微波加热装置中， N 保护下退火晶化， 在微波加热装置原理如图1所 ...
微波退火法低温制备多晶硅薄膜晶体管 微波加热技术。采用非晶硅薄膜微波退火固相晶化法低温制备出多晶硅薄膜晶体管，研究了微波退火工艺对多晶 ... 加热装置原理如图1所示，主要由微波发生器、波导.
2.2 離子佈植砷化鎵場效電晶體 - 國立中央大學 文中簡單介紹電晶體、離子佈植和相關量測之原理，並. 詳述各個製程步驟之 ... §4.5.1 歐姆接觸之最佳退火溫度與時間………………………32. §4.5.2 歐姆接觸電極 ...
