電漿製程中電漿密度之量測—傳輸線式微波干涉儀Plasma ... 在本文中，我們介紹一種電漿製程中的電漿密度量測方式: 傳輸線式微波干涉儀。此干. 涉儀的基本原理與傳統微波干涉儀的原理幾乎相同，差別只在於傳輸線式微波 ...
