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微機電系統知識摘要
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微机电系统_互动百科
微机电系统(MEMS)基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装置,是一个独立的智能系统,主要由传感顺、作动器(执行器)和微能源三大部分组成。MEMS技术的 ...
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