工研院機械所半導體組設備控制部 提供半導體設備控制、製程監控連線通信資訊及控制技術解決方案。
工研院機械所 工研院機械所 地址：新竹縣竹東鎮中興路四段 195 號 22 館 網址： http://www.mirl.itri.org.tw/ 電話： (03)5916515、(03)5916740 ...
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