大氣電漿技術應用於表面基材處理之應用特性分析__臺灣博碩士論文 ... 最後我們利用了大氣電漿內，定量的CDA及N2混合處理後來討論有機物污染去除的 電漿特性， ... 論文名稱(外文): The specific analysis for glass cleaning by AP-P.
大氣電漿技術應用於表面有機物清除之研究Investigation of AP ... 摘要: 半導體製程中常利用紫外光(UV)將殘餘的有機污染物移除,本研究利用常壓電 漿(AP)設備取代EUV燈管裝置,以清除玻璃基板表面有機污染物。我們使用大氣電漿 ...
