數位時代【招貼版】- EVG發表新一代EVG150自動化光阻製程系統 為高產能塗佈/顯影應用提供理想平台 EVG發表新一代EVG150自動化光阻製程系統 為高產能塗佈/顯影應用提供理想平台 陳琬愉 2012-09-04 全新設計的全自動化模組系統,結合傑出無可匹敵的噴霧式塗佈技術, 適用於MEMS、化合物半導體與先進封裝等產業
塗佈 - SUSS MicroTec 晶圓結構是選擇塗膠方式的決定性因素。目前最常用的方法是旋轉式塗佈。它用於沒有或者只有極小表面結構的晶圓。對於表面結構複雜的晶圓,另一選擇即為噴霧式 ...
LabSpin6/8 - Details - SUSS MicroTec 亦可選購各種專為符合任何應用需求而設計的LabSpin 選配。LabSpin 系統除了提供旋轉式光阻塗佈外,亦可另外選購注射器或自動配料系統、邊緣塗佈、去除邊緣球 ...
廠商巡禮 EVG | SEMI TAIWAN 現在EVG發表下一代EVG150自動光阻製程設備,此全新高產能光阻塗佈/顯影設備 ... 15年來在光阻處理與顯影技術、以及特別的噴霧式光阻塗佈經驗,EVG150是最 ...
EVG發表新一代EVG150自動化光阻製程系統為高產能塗佈/顯影應用 ... 全新設計的全自動化模組系統,結合傑出無可匹敵的噴霧式塗佈技術, 適用於 MEMS 、化合物半導體與先進封裝等產業 微機電系統 (MEMS) 、奈米技術與半導體晶圓 ...
光阻旋轉塗佈 - 旋寶好企業 製品介紹 ・サービス. 噴霧式光阻塗佈機. 旋轉式光阻塗佈機. 返回首頁 > 產品與技術 > 光阻旋轉塗佈機. P-6204 spincoater 8",up to 6" diameter non-programable, ...
Photoresist Spray Coating Equipment for Uniform Thin Films onto ... Ultrasonic photoresist spray equipment enables fine tuning of spray deposition for repeatable thin films with higher uniformity than spin coating or pressure ...
Spray Coating of Photoresists - MicroChemicals Photoresists, wafers, plating solutions, etchants and solvents . ... Spray coating denotes the formation of a resist film via millions of µm-sized resist droplets.
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