影片：450mm 設備前端模組(EFEM) - 自動化、 真空儀器儀錶在半導體製造、 生命科學及其他行業。| Brooks Automation Brooks M2 光罩換盒設備是一款光罩盒交換和光罩檢查的系統。 每一種特定 I/O 介面, 提供光罩更換傳送盒至適用所有掃描機/步進機的傳送盒，例如 Canon、Nikon、ASML、Toppan、Hoya、DMS 光罩盒等)。
光罩盒，適用於半導體汙染控制| Brooks Automation Brooks 半導體真空系統：VCE load lock、Marathon 2 傳輸系統與Marathon Express 。 ... >產品>半導體汙染控制>晶圓載具和晶舟>光罩盒. 產品 · 半導體自動化 ...
光罩盒D Twin | 半導體汙染控制| Brooks Automation 光罩盒，適用厚度為250 mil 的6" 光罩或90 mil 的5" 光罩。
光罩盒A Rapid | 半導體汙染控制| Brooks Automation 確保光罩運輸及儲存安全的理想解決方案。 ... >產品>半導體汙染控制>晶圓載具和晶舟>光罩盒>A Rapid. 產品 · 半導體自動化 · 半導體汙染控制 · 清洗設備 · 乾淨的 ...
Mega 光罩和| 光罩盒| 半導體汙染控制| Brooks Automation 確保光罩運送及儲存安全的理想解決方案。 ... >產品>半導體汙染控制>晶圓載具和晶舟>光罩盒>Mega 光罩盒. 產品 · 半導體自動化 · 半導體汙染控制 · 清洗設備 · 乾淨 ...
光罩盒C Swift | 半導體汙染控制| Brooks Automation 光罩盒C Swift 是確保光罩運輸及儲存安全的理想解決方案。
M2 光罩盒更換設備| Brooks Automation 個別I/O 介面提供光罩更換傳送盒至所有適用的掃描機/步進機的運送盒, 並可對光罩 進行 ... >產品>半導體自動化>工廠自動化解決方案>光罩傳載>M2 光罩盒更換設備.
M2090 光罩盒更換/儲存設備| Brooks Automation Brooks M2090 光罩換盒/儲存設備是一款光罩的傳送盒交換、檢查和儲存系統。 ... > 產品>半導體自動化>工廠自動化解決方案>光罩傳載>M2090 光罩盒更換/儲存設備.
光罩盒- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia 前往： 導覽、 搜尋. 光罩盒（Mask Package），意為儲存光罩的盒子，主要用於避免光 罩遭受外部微塵粒子及化學污染。 ... 半導體器件製造. 隱藏分類：. 含有英語的條目 ...
家登光罩盒出貨拚增10倍- 中時電子報 2014年1月2日 - 半導體設備廠家登（3680）受惠極紫外光光罩盒（EUV Pod）及12吋防微污晶圓傳載盒量產出貨，去年12月營收估逾2億元並創歷史新高，今年因微影 ...
