含浸塗佈機 含浸塗佈機 Dip Coater 特色 包含塗佈,乾燥及冷卻,一貫作業全自動生產線。 兩面同時進行含浸塗佈,形成薄膜,配合光阻油墨,薄膜膜厚3μ~12μ 。 ...
半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 超厚光阻特性探討晶圓級封裝之多頻光譜光度測定法 - Semicondutor Magazine #p#John C. Lam 因為缺陷與後來的重工(rework)相對應的提高產生成本,精準光阻層的特性是使良率最佳化的關鍵因素。現在製造業者大多在profilometry與cross-sectional method兩種接觸方法(contact method)中選擇其中一種來使用,其方法就像掃瞄式電子顯微鏡 ...
長興光阻事業部-乾膜光阻 - 長興材料工業股份有限公司 乾膜光阻 ... 本公司目前所開發之液態聚醯亞胺 ( Polyimide; PI)材料,俱有可調控熱膨脹係數、低吸濕膨脹係數、低應力、高固型份、低黏度與高透明性之特性。
半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 新穎的光阻凍結製程在雙重成像技術的應用 - Semicondutor Magazine 3>半導體光阻的主要功能是準確地的複製光罩圖像,並透過後續的蝕刻製程達到元件的線寬(CD)需求。隨著光罩線寬的縮小,圖像成像對比的減少,光罩線寬小於曝光機台的光學極限。特徵間距(feature pitch)的解析度對元件密度最為重要,它決定元件如何堆疊。
[技術專文]新穎TFT-LCD光阻於先進Halftone製程的應用 - 《化合物半導體·光電技術》雜誌 蔡坤賢、顏以明、張雍政/台灣安智電子材料股份有限公司 平面顯示器產業被視為第二個半導體業,全球的市場規模預估在2010年將達到3兆台幣,特別是薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)的發展。TFT-LCD因具有輕薄、省電、無輻射問題等優點,逐漸擴大於 ...
光阻塗佈機 - NFC奈米中心 中文名稱 光阻 塗佈機 英文名稱 Photo Resist Spinner 儀器廠牌型號 Synrex 擎邦 1-PM101D-R790 購置年限 1992年12月16日 放置地點 ...
光阻劑 1. 第七章: 微影製程. • 暫時在晶圓上塗佈光阻劑. • 將設計圖案轉移至光阻劑. • 為IC 製程中最重要之步驟. • 占晶圓總製程時間 ...
奈米通訊。第五卷第四期44.I-line修飾光阻之熱分析及微影參數粹取 基本的微影步驟包含了光阻旋轉塗佈(Spin Coating)、軟烤(Soft Bake)、曝光、曝後烤 (Post Exposure Bake)、顯影及硬 ...
TecLin Corp., Ltd. : Technology Value Linking全自動光阻塗佈/顯影機 ... 全自動光阻塗佈/顯影機Auto Coater/ Developer. 廠牌:SVS. MSX1000 是針對光電 、半導體製程所設計的模組化塗佈系統, ...
光阻塗佈機 - NFC奈米中心 - 國立交通大學 中文名稱, 光阻塗佈機, 英文名稱. Photo Resist Spinner. 儀器廠牌型號. Synrex 擎邦 1-PM101D-R790. 購置年限. 1992年12 ...