微影技術中的抗反射塗佈 | AZ Electronic Materials 目前您位於： > 首頁 > 產品 > 微影技術 > 抗反射塗佈 抗反射塗佈 微影技術 抗反射塗佈 防塌沖洗 化學微縮配方 光阻 光阻顯影劑 ... 用來處理包括 i-Line 、 248 奈米 、 193 奈米和 193 奈米浸潤的特定微影波長製程 。在進行光阻塗佈製程之前先塗佈在晶圓上
[技術專文] 噴霧式光阻塗佈的新應用- 《半導體科技．先進封裝 ... 本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗佈 ...
半導體科技.先進封裝與測試雜誌- 噴霧式光阻塗佈的新應用 ... 本文討論噴霧式光阻塗佈(Spray Coating)的多種應用，此項技術最初是發展用來處理一些對光阻塗佈最有挑戰性的基材表面，外形及斜面的光阻塗佈。和標準光阻塗佈 ...
旋轉式光阻塗佈機/ 噴霧式光阻塗佈機 - SUSS MicroTec SUSS MicroTec塗佈機是具備精簡、易於使用之光阻塗佈設備，可生產從經濟實惠的小產量實驗室設備，到最大300mm之高階生產系統的完整產品線，因此可在相同的 ...
半導體製程技術 - 國立聯合大學 光阻. ▫ 感光材料. ▫ 暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 光阻化學. ▫ 始於印刷電路技術. ▫ 1950年代後為半導體工業採用. ▫ 圖案化製程 ...
微影技術中的光阻| AZ Electronic Materials RFP 系列, 滾輪式塗佈正型光阻. TFP 系列, 旋塗式塗佈正型光阻（較高感光度）. SZP 系列, 旋塗式塗佈正型光阻（較低感光度）. HKT 系列, 旋塗式和狹縫/旋塗式塗佈正 ...
Chapter 6 微影技術 基本步驟，舊式技術. •晶圓清洗. •預烤. •底漆層和光阻的旋轉塗佈. •軟烘烤. •對準和曝光. •顯影. •圖案檢視. •硬烘烤. 光阻塗佈. 顯影 ...
步進機 微影技術即為印刷製版技術，利用光罩將電路圖案轉移至光阻顯影，最後蝕刻完成。 ... 光阻的材料，通常是將感光性的樹脂成分溶解於有機溶劑中，利用旋轉塗佈將 ...
半導體製程之綠色革命 - 技術報導 超臨界流體以其獨特的物化性質，提供一種關鍵性綠色技術平台，可解決半導體技術 .... 以液態CO2做旋轉塗佈光阻，乃利用其低表面張力與低黏度特性迅速且均勻地 ...
Lithography introdution ... 圖案誤差增加，所以負光阻. 較不適合小於3um以下之製程技術。 ... 乎所有光阻塗佈皆以旋轉塗蓋(Spin coating)來進行，如下圖所示。 光阻厚度除與光阻液黏性有關 ...
