太陽電池磊晶技術開發 - 行政院原子能委員會 1999年12月10日 ... 參、研究方法與過程. 一、磊晶系統 ... 合金並製作TLM 模型來量測接觸電阻，並以四 點探針進行I-V 量測.
下載 - 國立中央大學 與Pd/Au 為接觸電極，量測其歐姆接觸，並得到最佳特徵接觸電阻(Specific. Contact Resistance, ρc)值 ..... 體截面圖..............................48. 圖3.1 在N-GaN 上製作Cr/Pd/ Au TLM，在5μ m spacing 下電壓電流特.
氮化鎵材料之低阻值歐姆接觸Low-Resistance Ohmic Contacts ... 氮化鎵形成低阻值歐姆接觸，其最低接觸電阻值7.4x10-5 Ωcm2。而經氧化的 ... 應用 Lift-off製程來定義圓形結構，此TLM.
