Deposition of SnO2 thin films as gas sensor by EAVD method 國立中山大學材料科學研究所. 碩士論文. 以靜電霧化沉積法鍍製氧化錫氣體偵測薄膜. Deposition of SnO2 thin films as gas sensor by EAVD method. 研究生:柯日弘.
二氧化錫薄膜在不同溫度下之氣敏分析論文摘要 nm 作為絕緣層,將沉積二氧化矽膜薄上濺鍍SnO2 薄膜,分別為40 nm、60 nm、 ... 鍍腔體沉積Cu 作為導電電極層,形成氣體感測器,探討酒精氣體在不同膜厚以.
逢甲大學通訊與IC產業研發碩士專班碩士論文 - 逢甲大學學位 ... 表2.3 氣體感測器之類型、檢測原理、檢測氣體及優缺點…………26. 表2.4 代表 .... 為,並提出SnO2 氣體感測元件的專利及商業化的SnO2 燒結粉末(塊材). 的氣體感 ...