流量換算sccm換算PA - Yahoo!奇摩知識+ 大家好，sccm為每秒流出一立方體積，那麼如果要換算成PA公式因該為何。比如在一個容器，他洩漏的值為45pa，那麼如果單位改為 ... pa指的是壓力單位帕斯卡吧！一個是體積流量單位，一個是壓力單位，這是不同單位（因次不同）無法換算喔！
GaN 材料 sccm -> mol/hr ?? - Yahoo!奇摩知識+ sccm 是氣體的一種流量單位. 1sccm代表在標準狀態(溫度 273K,壓力 760 torr)下,每分鐘有 1cm^3 的氣體流量. 問題(1). TMGa 的1sccm 等於多少 mol/hr? 因為 1sccm = 1cm^3/min = 60cm^3/hr,在溫度 273K,壓力 760 torr 利用理想氣體公式, PV= nRT
