mfc質流控制器知識摘要

MFC: Theory and Applications
MFC (Mass Flow Controller) 質流控制器. – 利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體 的質. 量流速. – 不同於一般測量體積流速的方法，所以能夠. 避免環境壓力與氣體 ...

MFC 原理結構說明MFC 原理結構說明 - new jein industrial co, ltd
2008年12月25日 ... 質流控制器（Mass Flow Controller）簡稱MFC。簡. 易的詮釋MFC 是一種流量與控制 閥組的精密組機. 電組合，其測量方式與一般流量計最大的差別，.

質流控制器（MFC） - 俊尚科技股份有限公司
Table of contents « 前一個所有頁面下一個» 質流控制器（MFC） MFC 顯示器質流 控制器（Mass Flow Con-troller)一般簡稱MFC。它是一種流量計與控制閥組的精密 ...

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以質流控制系統技術改進機台與製造程序 - 半導體科技
一種新的質流控制(MFC)的校正方法，可將氮氣的物理參數與各種不同製程氣體的 ... 質流控制器(MFCs)是使用在前段晶圓製程機台上，具有高度複雜性與專製性的 ...

Mass flow controller - Wikipedia, the free encyclopedia
A mass flow controller (MFC) is a device used to measure and control the flow of fluids and gases. A mass flow controller is designed and calibrated to control a ...

Thermal & Pressure-based Mass Flow Controllers & Meters - MKS ...
Mass Flow Controller & Mass Flow Meter Products from MKS Instruments ... Elastomer & Metal sealed MFC/MFM; 1.5 inches (38.1 mm) wide; Full scale MFC flow ...