4-4 LIGA微機械加工技術(LIGA micromachining) - 首頁 2013年4月4日 ... LIGA微機械加工技術(Lithographie Galvanoformung Abformung)是利用光學微影、 電鍍成型、模造成型等製程技術來製作微機電系統(MEMS)元件， ...
產業技術 - 首頁 2012年8月4日 ... 利用黃光微影、摻雜技術、蝕刻技術、薄膜成長等半導體的製程技術，製作微小的機械 元件、光學 ... 4-4 LIGA微機械加工技術(LIGA micromachining).
精密電鑄概論 - 吳鳳科技大學 光刻鑄模技術製程( LIGA Technology ). 涵蓋三個製程:(1)X-ray光刻術(德文: Lithographie) (英文:Lithography). (2)電鑄(德文:Galvanik) (英文:Electroforming).
LIGA技術 - 國立高雄第一科技大學 微機電系統導論─LIGA 與LIGA-like製程1. National Kaohsiung First University of Sci. & Tech. Micro-Electro-Mechanical System Lab. LIGA 技術. LIGA Technology.
何謂LIGA www.tool-tool.com - Le blog de willy LIGA製程源自德國核能研究所，1980年初期所發展出來用以製造微結構的技術。它 結合X-Ray深刻術（Deep X-Ray Lithography）電鑄翻模（Micro Electroforming）及 ...
LIGA 制程原理及应用(初稿)_百度文库 LIGA制程原理及應用Terry.Liao Outline 微機電系統技術(MEMS)簡介LIGA技術介紹 LIGA技術制程原理LIGA技術的特點LIGA技術的應用 MEMS ...
LIGA 製程 LIGA. LIGA 技術的起源與發展. 1975年， Romankiw 等人(IBM)結合X-ray 曝光及 電鍍 ... 美國Wisconsin大學之Guckel 教授，將LIGA 技術與半導體製程結合，使LIGA ...
國立高雄應用科技大學碩士班碩士論文 - 國立高雄應用科技大學模具 ... Application of UV-LIGA Process on the Fabrication of Light Guide ... 在整個技術 開發過程中，本文將著重在UV-LIGA 製程上的探討、厚膜. 光阻SU-8 熱迴流(reflow) ...
紫外線基奈米壓印技術 - 應用科學系 - 國立東華大學 LIGA製程範例; LIGA-like. 今世：熱壓式奈米壓印技術、紫外線基奈米壓印技術. 奈米 壓印技術之技術瓶頸. 奈米壓印技術之應用. 3. 奈米科技之發展. 半導體、光電元件之 ...
