超薄ITO 透明導電膜應用在觸控面板之研究Reliability and ... 本文使用直流磁控濺鍍在玻璃基板表面沉積ITO透明導電膜，研究超薄的. ITO膜厚從2nm到100nm ..... 圖2-11，紅外線式觸控螢幕動作原理示意圖………………………. 23. 圖2-12，紅外線式觸控 ...
