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真空製程技術- 看板NCHU-PP87 - 批踢踢實業坊 在1905年Gaede設計了旋轉式的幫浦,所用了封閉液體不是油而是水銀, .... 被抽真空腔體內的氣體逐漸減少而達到真空的效果,捕捉氣體的原理不外乎 ..... Dry pump 一般的Rotary pump 需要有幫浦油來協助密合以防止被抽出去的 ...
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真空技術 將氣體自低氣壓處捕捉後經壓縮送至高氣壓處,利用此原理. 者通常可直接將氣體排 .... 所要求之真空度就需要用多級dry pump才能達到此目的。 Dry pump之優點為無 ...