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錦德氣體有限公司- JING DE GASES CO., LTD 電子氣體 1. 超高純半導體氣體: SiH4, SiH2CL2, SiH6, PH3, B2H6, ASH3, NH3, N2O, NO, CO2, BCL3, CL2, HCL, HBr, CO, CH4, H2S, GeH4, NF3, SiF4, SF6, H2Se, CF4, C2F6, C3F8, CHF3, O2, N2, Ar, He, H2。
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CF4(四氟化碳)用於電漿清洗機的防護措施? - Yahoo!奇摩知識+ 最近公司的氣體鋼瓶多了(四氟化碳)這種氣體,目的是電漿清洗機作業使用,不知這種體對是否有危險性? ... 還好,目前環境組織並未對 CF4 作為管制對象,不是說CF4對環境不會影響,只是CF4的氣體非常穩定,不易解離,所以目前並 ...
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半導體科技新聞 - 台灣半導體業溫室氣體全氟化物排放減量 - Semicondutor News, Science and Technology 自1999年5月底,TSIA也相繼邀請Applied Materials、TEL、Novellus、Lam、3M、Air Products、DAS、BOC Edward、ATMI、Litmus、Hitachi、Taeyang Tech等等公司,於ESH月會中介紹最新製程或排放減量技術,並積極鼓勵會員廠參與氣體公司提供的製程減量活動,如3M公司之C3F8取代CF4/C2F6 ...
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