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低壓電漿清潔設備PC03/PC04 - 馗鼎奈米科技 處理均勻性佳．離子能量低、不損傷基板．沒有電極及基板的汙染．專利設計之特殊電漿電極．高密度電漿源 ＊電漿效率高、清潔效率高 ＊可控制低的離子能量
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