凌嘉科技 - LINCOTEC Technology Co., Ltd. 電漿清潔 (蝕刻)原理 : 利用高頻的電源所產生的電漿，來帶動氣體離子轟擊基底材料，以達到表面清潔 (蝕刻)的效果。 其功能包含了： 1. 表面活化 2. 表面清潔 3. 微蝕刻化 4. 交錯連結 5. 化學改質 能有效改善被處理素材的表面濕潤性與表面能、增加附著 ...
Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University 電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 • 說明平均自由路徑 • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 • 列出兩 ...
Plasma Equipments 各式專業電漿設備 電漿設備專業製造商，暉盛科技，各式專業電漿設備，電漿
電漿反應器與原理 本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異，而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%，近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛， 如 ...
Plasma 2010年4月2日 ... Valve. Pump. DC. Power. 解離反應 e-+X. 2. 2X+e-. 激發反應 e-+X. X*+e-. 離子化 反應e-+X. 2. X. 2. ++2e- e-+X. 2. 2X++3e-. 電漿原理介紹 ...
Enercon大氣式電漿清洗機-勤友企業股份有限公司 基本原理： 當等離子氣體與被處理物表面相遇時，產生了化學作用和物理變化。表面得到了清潔，去除了碳化氫類汙物，如油脂、輔助擠壓劑等，根據材料成分，其表面分子鏈結構得到了改變。建立了羥基、羧基等自由基團，這些基團對各種塗敷材料 ...
常壓電漿原理、技術與應用關鍵詞 - 馗鼎奈米科技 2011年5月20日 - 常壓電漿原理、技術與應用. 1.徐逸明經理. 馗鼎奈米科技股份有限公司. 2.游閔盛研發工程師馗鼎奈米科技股份有限公司. 3.郭有斌高級工程師台灣 ...
大氣電漿(AP)應用於有機物清除設備之簡介 - 半導體科技 在實際操作上為了提高清潔效果必需提高電漿系統的壓力。 圖2-2：大氣電漿示意 2-2 大氣電漿設備原理[2] 氧氣經由電漿解離，會產生大量的自由基粒子(如下式)，這些 ...
微波電漿清洗機 - 立盈科技 微波電漿清洗機 介紹： 1.封測應用上為在封裝打線前由AR電漿清洗基材與晶片上鋁銲墊端點。膠合前藉由O2電漿活化基材上綠漆表面，以與 COMPOUND間有更強接著強度。 2.太陽能基板應用，為在元件擴散製程後P-N接合界面，利用 CF4電漿進行蝕刻處理，以 ...
電漿清洗機 - Kingyoup 壹. 基本原理. 經Enercon電漿清洗機(Plasma)高壓放電所產生電離子氣體，藉由空氣 壓縮機將氣體. 噴出電離子氣體(電漿)， ...
