創新之雷射干涉微影系統與大面積奈米壓印模具之 ... - 清華大學機構典藏 一般用來製作奈米模具的方式有許多種，如光學微影、電子束微影等技術，而屬於 其中技術之一的雷射干涉微影技術則提供了經濟、快速且容易製作奈米結構的優點。
多次曝光雷射干涉微影以及多道光雷射干涉微影在奈米級圖案化 ... 作者: 黃則斌. 論文名稱: 多次曝光雷射干涉微影以及多道光雷射干涉微影在奈米級 圖案化藍寶石基板製程上之產能比較及最佳化曝光設備之設計. 論文名稱(外文) ...
結合雷射干涉系統之微影及RIE蝕刻製程製作奈米壓印 ... - 國立清華大學 一般用來製作奈米模具的方式有許多種，如光學微影、電子束微影等技術，而其中雷 射干涉微影技術則提供了經濟、快速且容易製作奈米結構的優點，而本文使用了改良 ...
下載 - 國立中央大學 1995年7月10日 ... 論文名稱: 四道光干涉微影之曝光與顯影參數對微結構輪廓及深度之探討 ... 雷射 干涉微影(Laser Interference Lithography)只須簡單的光學鏡.
Only Perception: 建構新的雷射奈米製造技術 2011年4月25日 ... (PhysOrg.com) -- 雷射干涉微影術（Laser interference lithography）能以低成本製造 出解析度非常高的奈米級表面圖案，而現在，歐洲研究者在該 ...
工業技術研究院- 技術成果- 微奈米雷射圖案化系統與製程技術 另外，在大面積週期性奈米尺寸模具製作，利用雷射干涉微影方式可達到快速且無接 ... 目前雷射加工系統主雷射源為1035nm/517nm飛秒雷射，適用於金屬及非金屬 ...
創新之雷射干涉微影系統與大面積奈米壓印模具之製作__臺灣博碩士 ... 一般用來製作奈米模具的方式有許多種，如光學微影、電子束微影等技術，而屬於 其中技術之一的雷射干涉微影技術則提供了經濟、快速且容易製作奈米結構的優點。
創新之單模光纖式雷射干涉微影系統設計與開發__國立清華大學博 ... ... 製作次波長結構。但為了能夠使雷射干涉微影系統更加穩定、提高良率，許多研究 團隊提出以光學機構搭配即時回饋系統，鎖定干涉相位，使干涉光源受環境擾動的因.
先進微奈米加工技術平台 在UV LIGA 技術中，本研究團隊利用傳統半導體中的微影製程技術，製作各種 ... 雷 射干涉微影(Laser Interference Lithography, LIL) 技術的發展目標，主要是用於製.
應用雷射干涉微影技術製作週期性奈米結構於銅銦鎵硒薄膜之研究__ ... 本論文內容為利用雷射干涉微影(laser interference lithography)與濕蝕刻圖形轉移 技術分別製作四方孔洞奈米結構與六邊形孔洞奈米結構於銅銦鎵硒薄膜上，週期 ...
