半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 離子植入：32奈米與22奈米元件製程的新促動要素 - Semicondutor Magazine 多年來，離子植入設備供應商主要在產能與擁有成本的差異上進行競爭，邁入32奈米與22奈米製程的挑戰，開啟了新的機會，離子植入製程業已接軌，成為未來技術節點進行晶片製造的重點技術。 一開始，離子植入即為主力製程，VLSI電路因植入技術的固有 ...
Applied Solion®離子植入機 | Applied Materials Applied Solion離子植入系統運用經過生產驗證的平臺技術，為製造結晶矽光電電池的精密度、生產率和靈活性設定全新標準。 由於運用Solion系統的平臺技術，電池製造商既能提高電池效率，又能降低生產成本。
朝向更低能量之離子植入製程新趨勢與超淺接面的製作 本文所要探索的就是以高質量分子植入（High Mass Molecular Implant）及. 低溫植入 （Cold Implant）來提升 .... 到以BF2 離子植入來增加離子佈植機的產能。然而氟. 原子不是摻雜元素，卻會 ...
離子佈植（Ion Implantation）談起 - 國家奈米元件實驗室 離子佈植是：離子佈植就是利用電場，將游離的原. 子或分子加速後， ... 例，從離子的產生開始，到植入矽晶圓基板（substrate） .... 不要忘了它還能控制入射角，總而言之， 離子佈植機. 對於摻雜 ...
半導體科技.先進封裝與測試雜誌- 離子植入：32奈米與22奈米元件 ... 多年來，離子植入設備供應商主要在產能與擁有成本的差異上進行競爭，邁入32奈米與22奈米製程 ... 圖一顯示了PTC-II製程與傳統“非晶化前植入製程”(pre- amorphization implant, PAI)的比較。
Applied Solion®離子植入機| Applied Materials Applied Solion離子植入系統運用經過生產驗證的平臺技術，為製造結晶矽光電電池 的精密度、生產率和靈活性設定全新標準 ...
利用離子植入製程推動22nm元件之製作 - 半導體科技 控制變異性的過程會累積一套控制機制，最終提高離子植入機應用在其他領域上的 靈活性。這是當前離子植入的現況。均勻度 ...
半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - SIMS(二次離子質譜)在化合物半導體材料分析中的應用 - Semicondutor Magazine 在半導體工業中，材料與表面分析技術佔有相當重要的地位。它們被廣泛應用於生產過程中的各個環節，從新材料、新工藝開發、工藝過程中的監控直到失效和解剖分析。一般說來，材料分析包括物理的和化學的分析。物理分析是指對材料的物理性質，象 ...
低能量離子佈植技術及F+預先非晶化佈植之探討 - 國家奈米元件實驗室 在離子佈植的過程中，因矽基板是屬於結晶物質，具有完美的晶格結構，因而會發生 通道效應(channeling effect)，導致離子植入的深淺超過預期所要求的深度。要抑制 ...
