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針對22奈米及以下製程世代所需之超紫外線光源研發 - 半導體科技 作者：林思閩/ 西盟科技有限公司、大衛.伯蘭特,奈傑爾.法拉/ Cymer公司 日期：2009/ 4/15 來源：半導體科技.
