晶圓的處理－ 微影成像與蝕刻 光蝕刻技術 微影成像 （（ph t lith hhotolithography）） 步驟步驟 塗敷光阻劑 溶解度會隨曝光程度改變 曝光 改變光阻劑溶解度 顯影 去除溶解度較高的光阻劑 ...
