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自動化光阻塗佈及顯影系統(TRACK)-注意事項 自動化光阻塗佈及顯影系統(TRACK)-注意事項. （一） 委託注意事項：. 一、 僅接受 標準製程委託操作，標準製程條件如下：.
機台名稱： 自動化光阻塗佈及顯影系統機台編號： 制訂部門： 制訂日期： 2013年7月1日 ... 儀器設備作業標準(CF-L09 自動化光阻塗佈及顯影系統). 文件制修訂記錄. NO. 發行 日期修訂申請書編號.
L9-A 自動化光阻塗佈及顯影系統(TRACK)-儀器簡介. 設備編號：CF-L09. 設備名稱： 自動化光阻塗佈及顯影系統(TRACK).
L9-F 自動化光阻塗佈及顯影系統（TRACK）. 考核項目清單checklist. 98/05/11. 機台狀況 檢查與一般異常處理. 機台狀態檢查： ...
國研院奈米元件實驗室 - 國家奈米元件實驗室 - 國家實驗研究院 微影光罩 | 蝕刻薄膜 | 南區服務 | 高頻技術 | 檢測分析 | 其他.
本實驗室CF-L09 Track-自動化光阻塗佈及顯影系統 - 國研院奈米元件 ... 2013年9月14日 ... 由於CF-L09 Track-自動化光阻塗佈及顯影系統發生Main Arm Y軸Motor故障，需 等待零件及原廠工程師 ...
L17-F 阻劑塗佈及顯影系統ACT8（TRACK ACT8）. 考核項目清單checklist. 101/01/02. 1. 機台狀況檢查與一般異常處理.
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