半導體製程設備 第七章真空測漏 授課教師：黃 俊 傑 Outline 真空測漏之基本概念 漏氣量與漏氣位置之測定 測漏方法 氦氣測漏儀 何謂漏真空？ 在容器壁上具有不欲存在的孔洞，或多孔性材質等狀態以致於使流體或氣體逸出或逸入則稱之漏真空。
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氦氣測漏儀 主要用途：測試儀器架設管路真空度。特性：可偵測He4, He3, 及H 2。
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真空裝置漏與測漏原理介紹 - NEW JEIN INDUSTRIAL CO, LTD •氦氣測漏 方法 捷胤工業有限公司 NEW JEIN Corp. 常發生洩漏的位置 • 連接位置Fittings • 焊接點Welds • 密封圈Seals • 破洞,孔隙Cracks/Holes 捷胤工業有限公司 ...
請幫我解釋氦氣測漏的原理.... - Yahoo!奇摩知識+ 小弟我繼上次了解何謂氦氣測漏後，公司基於求知精神我需要了解內部分析氦氣的的相關機構及原理，請大家幫幫忙!!或提供我可查詢的地方...1.分子試pump (molecular pump) 功用是什麼??2.氣體分析的原理 (如何分析出氦氣)?3.真空分析管的功能是什麼?4 ...
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