通 訊 半導體製程黃光區的微震動來源及解決方法 35 第 八 卷 第 三 期 毫 微 米 通 訊 同頻率時的震動位移量不能達到此標準，將導 致量產時的產率降低，故必須在機台安裝前花 費更多的經費在設備減震上。因此如何選取合 適的廠址，避免受到經常性震動源的影響，
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