利用懸臂樑結構設計與製作之CMOS-MEMS微質量感測器 本論文將介紹以懸臂樑為結構之CMOS MEMS微質量感測器的設計概念、製作流程 以及其特性分析與量測結果探討。
微感測器原理與應用 - 國立成功大學 本課程之目的即在使學生熟悉微感測器之設計、製作、各種微感測器之工作原理及其 介面電路。本課程討論之範圍包括基礎IC ...
CMOS電容式流量感測器之設計與製作__國立清華大學博碩士論文 ... 這項研究提出一種用於人體呼吸流量的微感測器,可對於呼吸疾病患者做長時間的 監測與觀察。透過CMOS MEMS的技術將 ...
戴慶良 - 機械工程學系 - 國立中興大學 機械材料、半導體製程設備導論、微奈米技術導論、工程數學、專題製作. 研究所. 微 機電系統、微感測器與微致動器、半導體微 ...