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閎康科技股份有限公司> 掃描式電子顯微鏡(SEM) - MA-tek 材料分析,Material Analysis ,MA,TEM,穿透式電子顯微鏡,透射式電子顯微鏡,穿透電鏡,Trasmission Electron ...
閎康科技股份有限公司 > 二次離子質譜儀(SIMS) 二次離子質譜儀具有優異的偵測極限,可量測出固體材料中元素含量至百萬分之一或以下。二次離子質譜儀,一般以其分析儀種類,可區分為磁偏式質譜儀、四極式質譜儀與飛行 ...
半導體製程設備 - 第 202 頁 - Google 圖書結果 2 ,段定夫,半導體工業用高純度氣體與化學品的應用,電子月刊,四卷五期, ?「 67 〜 76 , 1998 。 3 ,島田孝、賴俊輔,半導體製程用除害裝置,電子月刊,四卷四期, ! ^ .
展阻量測系統 - NFC奈米中心 中文名稱 展阻量測系統 英文名稱 Spreading Resistance Probe System 儀器廠牌型號 廠牌:Solid State Measurement. Inc. 型號:SSM150 Automatic Spreading Resistance 購置年限 2000年12月1日 功能 測試試片表面展阻、載子濃度
展阻量測分析儀使用辦法 - NFC奈米中心 展阻量測分析儀使用辦法 99 年1 月25 日 1. 儀器規格 A. 展阻範圍:1 ~ 1E10 Ω. B. 載子濃度範圍: n-type silicon: 2E13 ~ 5E19 cm-3, p-type silicon: 2E14 ~ 7E19 cm-3. C. 最小縱深解析度:25 nm. 2. 試片限制 A. 目前僅針對(100)及(111)方向之Si試片進行濃度 ...
SRP(展阻量測)-(可靠度測試)美商譜特(股)公司台灣分公司-其他未分類-1111商搜網 (可靠度測試)美商譜特(股)公司台灣分公司-SRP(展阻量測)-新竹市其他未分類,商品原價:請電洽,使用兩個探針從拋光研磨成斜面的器件襯底來量電阻,測量探頭之間(電阻傳播),載流子濃度和電阻率(Ωcm的)的電阻值。 它是一種電阻分析方法,得到 ...
閎康科技股份有限公司 > 展阻分析儀 (SRP) 影像自動量測 分析技術 在LED磊晶層厚度量測上的應用 在先進IC製程FinFET研發應用 電性故障分析 ... 展阻分析儀 (SRP) 主要應用領域 A. 有效載子濃度 (Carrier Concentration) 縱深分析 B. 電阻縱深分佈分析 ...
National Tsing Hua University Institutional Repository: 掃描電容顯微鏡量測分析技術於探討退火製程對半導體超淺接面特性 ... ... 及訊號,配合二次離子質譜儀來量測摻雜元素縱深分布、四點探針來量測表面片電阻值、展阻分析儀來量測一維自由載子縱深分佈、以及I-V半導體元件參數分析儀來量測P+-N接面漏電流,並進行相互驗證與比較分析工作。
成功大學電子學位論文服務 用交大奈米中心的展阻量測系統(SRP)所量測SOD參雜的結果,掺雜濃度最高有1019(ions/cm3),深度約為1微米。以及製作成P+P-N+二極體來量測電壓電流(I-V)的特性,確實可以觀察到二極體順偏時有高電流,逆偏時幾乎沒有電流的整流特性。